（译文 页数：9 字数：4815）在自动测试设备环境下的使用COC技术的集成CMOS霍尔传感器的校准方法
摘要：由于霍尔传感器在汽车自动和工业化的高度需求下，霍尔传感器在SOC领域和工业制造的的发展变得尤为重要。从另一方面说，霍尔传感器的测试和描述选项在制造业中显得很有限。在大多数情况下，外部领域的发电机被用来描述小部分样品霍尔传感器的生产。在本文中，我们介绍一种不需要专门安装或者组合配置的COC技术校准方法。我们的方法是对自加热是免疫的。我们的方法能够降低设备的测试费用和降低对霍尔传感器在制造业中100%的筛选测试，可靠的微调灵敏度可以延伸到-40~150摄氏度。对规格化灵敏度为120个样本的不同结构的霍尔传感器在0.35微米的高压CMOS工艺的处理中，根据修整前的测量结果显示只有20%的样品低于6 σ。
目录
1. 介绍
2. 基于单片机的霍尔传感器的自加热
3. 精确瞬时校准过程
4. COC的可靠特性
5. 实验结果
6. 结论
7. 谢词
1. 介绍
磁场传感器提供了众多的应用，如不发生任何接触的电流测量、接近传感、指南针的应用和位移测量。
霍尔传感器是一种以响应变化的磁场而输出电压的一种传感器。今天霍尔传感器和读出电子设备可以被集成在同一块使用CMOS工艺的芯片上。从另一方面说，CMOS工艺仍然严重限制了霍尔传感器。时间和温度的灵敏度变化、低灵敏度和高失调电压（这些都是，但不仅限于）会造成比输出电压高几个数量级的电压输出。可供选择测试和表征的霍尔传感器在大批量生产中是非常有限的。最常见的技术是利用外场发电机去描述在一套小生产样品中的霍尔传感器。每产生100mT的磁场，就要求线圈的接触电流为30至60A。在每个程序运行期间电流必须接通和关闭，这有可能会产生巨大的峰值电流，因此会导致长时间的建立时间。在制造业的环境中，减少测试次数并不是一个可行的解决方案。在【4】中，作者提出了解决方案，采用人造励磁线圈直接整合到芯片表面。这一过程在调整磁场和传感器表面垂直的的时候可能会遇到困难。由于这些限制，灵敏度校准大多数是在硅上应用几个旋钮来完成的。然而，早期的筛选没有必要，应用程序的安装和广泛的微调将减少安装费用。
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