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MEMS(Microelectromechanial system)，是指采用微机械加工技术可以批量制造的集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等一体化的微型器件或微型系统。它的内容在世界著名的信息技术杂志IEEE Proceedings中被归纳为：集成传感器，微执行器和微系统。它是在微电子技术和微机械技术的发展过程中发展起来的，是传感器高度发展的结果，它的出现开辟了一个新的技术领域，其研究不仅涉及元件和系统的设计、材料、制造、测试、控制、集成、能源以及和外界等许多方面，还涉及到微电子学、微机械学、微动力学、微流体学、微光学、材料学、化学和生物学等基础理论。MEMS技术的发展显示出巨大的生命力，它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性提高到新的高度。其产品如微传感器、微执行器和微电子机械部件正在工业过程控制、通讯、计算机和机器人、环境保护、医疗等方面得到了广泛的应用，并取得了可观的经济效益。 MEMS技术的发展始于20世纪60年代，。MEMS的基础技术主要包括:硅各向异性刻蚀技术;硅/ 硅键合技术;表面微机械技术;LIGA 技术(包括X 射线深度光刻、微电铸和微塑铸等工艺) 等,已成为研制生产MEMS必不可少的核心技术。尤其是20 世纪90 年代开发的LIGA 技术,成功地解决了大深/ 宽比光刻技术的难题,为研制开发三维微结构的加速度传感器、微型陀螺以及各类微执行器、微型构件(如微马达、微泵、微推进器、微振子、微电极、微流量计等奠定了工艺技术基础。MEMS技术自20世纪80年代末开始受到世界各国的广泛重视，其主要技术途径有3种：(1)以美国为代表的、以集成电路加工技术为基础的硅基微加工技术；(2)以德国为代表发展起来的LIGA技术；(3)以日本为代表发展的精密加工技术。1987年，美国UC Berkeley大学发明了基于表面牺牲层技术的微马达，引起国际学术界的轰动，人们看到了电路与执行部件集成制作的可能性，这是MEMS技术的开端......