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毕业论文 化学气相沉积法制备碳材料

  • 简介:毕业论文-化学气相沉积法制备碳材料,共39页,15850字,附外文翻译、文献综述,摘要,纳米科技是20世纪80年代末、90年代初才逐步发展起来的新兴科学领域。本文主要通过化学气相沉积法(PECVD)制备C/C复合材料。首先,我们对仪器进行了解、
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    资料包括:论文 外文翻译 文献综述   
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适用专业:材料物理
适用年级:大学
论文编号:208636

论文简介:
毕业论文-化学气相沉积法制备碳材料,共39页,15850字,附外文翻译、文献综述
摘要
纳米科技是20世纪80年代末、90年代初才逐步发展起来的新兴科学领域。本文主要通过化学气相沉积法(PECVD)制备C/C复合材料。首先,我们对仪器进行了解、改装。利用Mg(NO3)2·6H2O、 Ni(NO3)2·6H2O 、Mg(NO3)2·6H2O和Ni(NO3)2·6H2O分别制备出不同浓度、物质的溶液,作为催化剂。然后分别用泡沫镍、石英片分别作为衬底,制备出样品。并对所做的样品进行扫描电镜表征分析,来探究不同条件对碳纳米管薄膜生成的影响。通过实验,使我们对碳纳米管及其制备有更加进一步的了解。让我们对碳纳米管材料有更加深刻的认识。
关键词:碳纳米管   化学气相沉积    催化剂    衬底

本文研究碳纳米管的生长和结构,以及生长所受条件的影响,所做的工作有以下几个方面:
1、利用购买的泡沫镍,然后在其上用PECVD法制备碳纳米管薄膜。借助SEM和红外检测对薄膜进行分析。
2、利用酒精溶液,配置相应浓度的Mg(ON3)2和Ni(ON3)3以及其混合溶液。分别滴定在三块石英片上。等其酒精挥发后,利用PECVD法制备碳纳米管薄膜。并利用SEM和红外检测对薄膜进行分析。
通过实验和测试,对碳纳米管薄膜生长和结构性能进行研究,在催化剂、温度、射频功率以及通入气体流量改变的情况下对其特性的影响进行多方面探索。

目录
第1章 绪论 - 1 -
1.1 C/C复合材料的历史及展望 - 5 -
1.2 碳纳米管的结构特性及用途 - 8 -
1.2.1 碳纳米管的结构 - 8 -
1.2.2 碳纳米管的特性 - 10 -
1.2.2.1 物理特性 - 10 -
1.2.2.2 化学特性 - 11 -
1.3 碳纳米管的制备方法 - 11 -
1.4 本课题的选题依据及主要的研究内容 - 13 -
第2章 PEVCD仪器简介 - 15 -
2.1 PECVD设备主要用途及工作条件 - 15 -
2.1.1 主要用途 - 15 -
2.1.2 工作条件 - 15 -
2.2 PECVD仪器工作原理 - 16 -
2.3 实验过程中所遇见问题及解决办法 - 17 -
2.4 仪器使用注意事项 - 17 -
2.5 本章小结 - 18 -
第3章 碳纳米管的制备工艺及表征方法 - 19 -
3.1 催化剂的制备 - 19 -
3.1.1 Mg(NO3)2•6H2O和Ni(NO3)2•6H2O溶液做催化剂(石英片为衬底) - 19 -
3.1.2 Mg(NO3)2•6H2O和Ni(NO3)2•6H2O溶液做催化剂(泡沫镍为衬底) - 19 -
3.1.3 磁控溅射(MS)技术制备镍膜催化剂[20] - 20 -
3.1.4 粒子束溅射法(IBD)制备铁膜催化剂[20] - 20 -
3.2 PECVD法制备碳纳米管 - 22 -
3.3 碳纳米管的表征方法 - 22 -
3.4本章小结 - 23 -
第4章 碳纳米管的制备实验与检测 - 24 -
4.1 实验步骤 - 24 -
4.1.1 直接配制溶液法 - 24 -
4.1.1.1 催化剂的制备过程 - 24 -
4.1.1.2 衬底清洗 - 24 -
4.1.1.3 碳纳米管的制备过程 - 25 -
4.1.1.4 实验记录 - 25 -
4.1.2 泡沫镍法 - 27 -
4.1.2.1 催化剂的制备过程 - 27 -
4.1.2.2 衬底清洗 - 27 -
4.1.2.3 碳纳米管的制备过程 - 27 -
4.1.2.4 实验记录 - 28 -
4.2 实验样品检测 - 29 -
4.3 本章小结 - 30 -
第5章 样品检测与分析 - 31 -
5.1衬底为石英片 - 31 -
5.1.1 检测成果 - 31 -
5.1.2 检测成果分析 - 32 -
5.2衬底为泡沫镍 - 32 -
5.2.1 检测成果 - 32 -
5.2.2 检测成果分析 - 34 -
5.3本章小结 - 34 -
结论 - 36 -
致谢 - 37 -
参考文献 - 37 -


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