论文简介:华侨大学研究生论文 气相沉积技术及其在机械工程中的应用,共14页,9261字摘 要:本文阐述了气相沉积技术的内涵和基本方法,重点概述了各国在气相沉积技术方面所作的一些研究,并在此基础上介绍了气相沉积技术在机械工程领域中的一些应用,最后指出了气相沉积技术在今后的发展动向和趋势。关键词:气相沉积;覆层;溅射
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