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MEMS梳齿结构典型物理量的测量

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原文缩略
 
第1章 MEMS典型物理量的测量
微米纳米技术是一门交叉综合学科,包括物理学、化学、生物学、材料科学和电子学,它不仅包含以观测、分析和研究为主线的基础学科,同时,还包括以微米纳米工程与加工学为主线的技术科学。所以,微米纳米技术是一个前沿基础学科和高技术融为一体的完整体系。
微米纳米研究的飞速发展对测量提出了迫切的更高要求:如何评价微米纳米材料的颗粒度、分布、比表面和微结构?如何评价超薄薄膜表面的平整度和起伏?如何测量微纳米尺度的多层膜的单层厚度?当今晶体管和量子效应原理性器件已进人到亚微米级.世纪之交的目标值是250nm,芯片的尺寸越来越小,存贮密度越来越高,微纳米电子学中的器件集成已不再遵循微电子学的规律,量子效应将起主导作用,如何评价微纳米器件等,这都是摆在纳米测量科学面前的重要课题。
所以微米纳米测试技术及方法是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节之一,是一项关键技术。MEMS典型物理量测量的包括:长度、角度、表面形貌与形变、表面粗糙度等几何参量的测量;位移、速度、谐振频率、相位、谐波等机械(运动)参量的测量;杨氏模量、密度、硬度、折射率分布等材料特性的测量;应力分布、残余应力、冲击韧度、断裂强度、疲劳寿命等力学特性的测量等。作为微米纳米测试技术的典型应用,MEMS系统特征参数的测量还应该包括一些与MEMS系统功能有关的典型物理量和MEMS器件自身结构特征参数的检测与测试。MEMS特征参数的检测与测试主要包括MEMS结构几何结构特征参数和机械特性参数的检测与测试。MEMS几何结构的特征参数是指MEMS几何结构的尺寸及描述表面微观特性的参数,如微梁结构的长、宽和厚度,微光学镜的表面光洁度等
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论文目录
 
目 录
第1章 MEMS典型物理量的测量 
第2章 MEMS梳齿结构几何结构参数的测量 
第3章 MEMS梳齿结构残余应力的测量 
第4章 MEMS梳齿结构梳齿侧壁表面质量的评估 
第5章 总结 
 
参考文献
 
 
简单介绍
 
摘要
微米纳米测试技术是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键技术。本文介绍了MEMS典型物理量的测量方法,并以MEMS梳齿结构为例,设计了其典型几何结构参数和梳齿残余应力的测试系统、、侧壁表面质量的评价系统。
关键词
MEMS 微米纳米测试技术 梳齿结构

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