本文通过对微细加工的概念，特点，和微细加工在国内国外的发展情况，以及微细加工的部分工艺的描述，使我们对微细加工又一个新的认识，并且认识和了解我们国家在微细加工技术上的长处和不足，促进我们国家微细加工型业的发展。微细加工技术是精密加工技术的一个分支，面向微细加工的电加工技术,激光微孔加工、水射流微细切割技术等等在发展国民经济，振兴我国国防事业等发面都有非常重要的意义，这一领域的发展对未来的国民经济、科学技术等将产生巨大影响，先进国家纷纷将之列为未来关键技术之一并扩大投资和加强基础研究与开发。所以我们有理由有必要加快这一领域的发展和开发进程。微细加工技术是指加工微小尺寸零件的生产加工技术。从广义的角度来讲，微细加工包括各种传统精密加工方法和与传统精密加工方法完全不同的方法，如切削技术，磨料加工技术，电火花加工，电解加工，化学加工，超声波加工，微波加工，等离子体加工，外延生产，激光加工，电子束加工，粒子束加工，光刻加工，电铸加工等。从狭义的角度来讲，微细加工主要是指半导体集成电路制造技术，因为微细加工和超微细加工是在半导体集成电路制造技术的基础上发展的

1.前言
2.微细加工和超精密加工在国外的发展情况
3.微细加工技术在国内的成熟工艺及其产品
4.微细加工的发展前景
5.小结

1.袁哲俊，王先逵主编，《精密和超精密加工技术》，机械工业出版社•北京•1999.10
2.严东生，冯瑞主编，《材料新星-纳米材料科学》，湖南科学技术出版社•长沙•1997.4
3. 赵义善，"引人注目的高新材料-纳米材料"，《航空制造工程》，1999，29(11)
4. 曹茂盛.超微颗粒制备科学与技术.哈尔滨：工业出版社，1998：87
5. 卢寿慈.粉体加工技术.北京：中国轻工业出版社，1999：169
6. 曹茂盛.超微颗粒制备科学与技术.哈尔滨：工业出版社，1998：87
7. 郭辰生，等.超微粉碎技术.食品工业，1998，(3)：44
8. 骆苏芳，等.浅谈超微细中药粉体.中药材，1999，22(4)：209
9. 曾戎，章明秋，曾汉民，"高分子纳米复合材料研究进展（Ⅰ）"，《宇航材料工艺》，1999，1(1)
10. 曾戎，章明秋，曾汉民，"高分子纳米复合材料研究进展（Ⅱ）"，《宇航材料工艺》，1999，6(2)
11. 曾戎，章明秋，曾汉民，"高分子纳米复合材料研究进展（Ⅲ）"，《宇航材料工艺》，1999，1(3)