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毕业设计 如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测

  • 简介:淮阴师范学院毕业设计 如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测,共23页,6822字。,摘 要:对于光学平面的检测,普遍用的干涉测量法需要一块高精度的参考平面作为标准,其测量精度受到参考平面精度限制。为了获得被测平面的绝
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适用专业:物理学
适用年级:大学
论文编号:111454

论文简介:
  淮阴师范学院毕业设计 如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测,共23页,6822字。
   摘 要:对于光学平面的检测,普遍用的干涉测量法需要一块高精度的参考平面作为标准,其测量精度受到参考平面精度限制。为了获得被测平面的绝对面形分布,同时根据对实际光学平面误差检测结果的分析,本论文提出了如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测。得到了运用Zernike多项式拟合法对光学平面进行绝对检验的理论模型。该方法使得测量整个波面可程序化,便于计算机辅助处理。最后对研究结果进行了数值模拟,进而证明了Zernike多项式拟合法的实用性。
   关键词:光学测量,三面互检,Zernike多项式,数值模拟
  
   目录
   1 课题研究背景 3
   2 三面互检法基本原理 5
   3 Zernike多项式拟合法的原理[3] 8
   4 理论模拟 14
   结束语 19
   参考文献 20
   致谢 21
   附录A Zernike多项式的前36项直角坐标系表达式 22
   附录B Zernike多项式的前36项极坐标系表达式 23


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